Характеристики производительности и специализированные применения диафрагмовых насосов в вакуумных системах
Его безуглеводородна всасывающая камера делает диафрагмальный насос особенно подходящим в качестве резервного насоса с турмолекулярным насосом. Даже двухступенчатый диафрагмальный насос может достигать максимального давления примерно 5 гПа. Для резервного насоса турбомолекулярного насоса этого достаточно. Чистый вакуум особенно подходит для анализа и исследований и разработок. Поскольку нет газового балласта, насос диафрагмы не может выкачивать водяной пар. Даже если небольшое количество водяного пара десорбируется со стенки высоковакуумного оборудования, конечное давление насоса может резко вырасти. Однако некоторые диафрагмальные насосы оснащены газовым балластным клапаном, который работает по запатентованному методу. Для этого газ пропускается в соединительный проход между первой и второй ступенями двухступенчатого диафрагмического насоса, который соединяется с камерой всасывания первой ступени через небольшое отверстие.
Если накапливается большее количество влаги и используется диафрагмальный насос без газового балласта, необходимо подключить подходящий сепаратор или холодную ловушку вверх, чтобы предотвратить образование большого количества конденсата в насосе. Но конечное давление будет усиливаться.
Диафрагмовые насосы отличаются предельным давлением, скоростью откачки и стабильностью всасывания коррозийных газов. Скорость откачки такого типа насоса составляет от 3 до 160 л·мин-1 (0,25–9,6 м3·ч-1). Двухступенчатый насос может достигать максимального давления ниже 4 гПа, а четырёхступенчатый — при максимальном давлении ниже 0,5 гПа. Скорость перекачки и достижимое конечное давление зависят от частоты источника питания.
Коррозионно-устойчивый газовый насос с покрытой диафрагмой и коррозионно-устойчивым корпусом подходит для всасывания коррозийных газов.
Метод именования насоса равен l · MIN-1 указывает скорость откачки и номер — количество ступеней насоса.
