Вакуумный насос диафрагмы ARO|Что такое вакуумный насос с диафрагмой
Вакуумные насосы с диафрагмой — это сухие вакуумные насосы. Шатун, приводимый в движение коленчатым валом, перемещает диафрагму, натянутую между верхней крышкой и корпусом. Пространство между верхней крышкой и диафрагмой образует камеру всасывания. Для достижения целевого газового вытеснения для диафрагмальных насосов требуются входные и выходные клапаны. Этот клапан состоит из клапана управления давлением, изготовленный из эластомерного материала. Поскольку всасывающая камера плотно герметично соединена с драйвером через каждую диафрагму, насосная среда не будет загрязнена маслом, а коррозионная среда не будет корродировать механическую структуру. Фиксированное пространство между выходным клапаном и всасывающей камерой создаёт ограниченное степень сжатия, что позволяет одноступенчатому насосу достигать максимального давления около 70 гПа. Возможно достичь максимального давления 0,5 гПа с помощью многоступенчатых насосов, соединённых последовательно. Ниже давления невозможно достичь, потому что больше недостаточно силы для открытия впускного клапана. Принцип диафрагмового насоса особенно подходит для низких скоростей откачки примерно 10 м· H-1.
Вакуумный насос диафрагмы ARO
